微焦點技術以其*的成像性能得到了越來越多的關注與應用。介紹了微焦點X射線設備的研制現(xiàn)狀和基于X射線焦點成像的物理機制。分析了微焦點技術在成像幾何不清晰度、放大比、散射線衰減和細節(jié)識別靈敏度方面的優(yōu)勢，該技術可彌補常規(guī)射線照相技術的不足，在實時成像檢測及工業(yè)X射線檢測領域有著廣泛的應用前景。

　　

　　微焦點X射線檢測系統(tǒng)由高頻高壓微焦點X射線源、X射線圖像傳感器、計算機、四維機械平臺等組成，是集現(xiàn)代計算機軟件技術、精密機械制造技術、光學技術、電子技術、傳感器技術、無損檢測技術和圖像處理技術等于一體的高科技產(chǎn)品。是進行產(chǎn)品研究、失效分析、高可靠篩選、質(zhì)量評價、改進工藝等工作的有效手段。

　　

　　系統(tǒng)涵蓋了光、機、電三大類技術領域，利用X射線與成像單元相配合，能夠?qū)崟r觀測到輪轂的檢測圖像，從而判定內(nèi)部是否存在缺陷及缺陷類型和等級，同時通過計算機圖像處理系統(tǒng)完成對圖像的存儲和處理，以提高圖像的清晰度，保證評定的準確性。既具有持續(xù)穩(wěn)定長時間工作的能力，也具有高放大倍率的能力。

　　

　　微焦點X射線檢測滿足客戶對X射線檢測的需求，外形美觀、檢測區(qū)域大、分辨率強、放大倍率高。該系統(tǒng)采用封閉式射線源和平板探測器作為核心部件，具備的檢測效果。適用于半導體、封裝元器件、電子連接器模組檢測、光伏行業(yè)等特殊行業(yè)的檢測。

　　

　　在進行檢測時，常規(guī)微射線檢測存在很大差異：我們通常不需要考慮圖像半影的大小，即通常不考慮幾何清晰度的影響，原因是當焦點尺寸足夠小時，可以忽略半影。因此，當X射線視野在可接受范圍內(nèi)，我們可以小化從樣品到焦點的距離。

　　

　　為什么要使用微焦點X射線檢測系統(tǒng)，主要是為了達到納米級直徑跳躍誤差和運動精度，確保樣品在測試過程中的穩(wěn)定性，保證圖像的高清畫質(zhì)，同時具有樣品運動自適應校正功能，有效降低了樣品掃描過程中運動和變形引起的不良重建效果。